200 mm Siliziumwafer
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200 mm Siliziumwafer

200 mm Siliziumwafer

Unser Flaggschiffprodukt, die 200-mm-Siliziumwafer, wurde entwickelt, um den breiten Anforderungen der modernen Halbleiterfertigung gerecht zu werden. Mit umfassenden Anpassungsmöglichkeiten für Durchmesser, Dicke und andere Parameter gewährleisten unsere Wafer Präzision und Leistung in einer Vielzahl fortschrittlicher Anwendungen.

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Produkteinführung
Produkteinführung

 

Unser Flaggschiffprodukt, die 200-mm-Siliziumwafer, wurde entwickelt, um den breiten Anforderungen der modernen Halbleiterfertigung gerecht zu werden. Mit umfassenden Anpassungsmöglichkeiten für Durchmesser, Dicke und andere Parameter gewährleisten unsere Wafer Präzision und Leistung in einer Vielzahl fortschrittlicher Anwendungen.

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Wichtige Spezifikationen

 

Durchmesser

200mm

Grad

Prime / Test / Dummy

Wachstumsmethode

CZ (Czochralski) / FZ (Float Zone)

Orientierung

<100>, <111>, <110>, <511>, <311>

Typ/Dotierstoff

P-Typ (Bor), N-Typ (Phosphor, Arsen, Antimon)

Dicke

725 μm, 775 μm und kundenspezifische Dicken auf Anfrage erhältlich

Dickentoleranz

Standard ± 25 μm; Maximale Fähigkeiten ± 5 μm

Widerstand

0.001 bis 100 Ohm-cm

Oberflächenbeschaffenheit

P/E (Poliert/Geätzt), P/P (Poliert/Poliert), E/E (Geätzt/Geätzt)

Gesamtdickenvariation (TTV)

Standard < 10 μm; Fortgeschritten < 5 μm

Bogen/Kette

Standard < 40 μm; Fortgeschritten < 20 μm

 

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